Nínú ilana Plasma-to-Chemical Vapor Deposition (PECVD), gbogbo asopọ ina, lati gbigbe agbara RF si ilana iṣakoso gaasi, ni ipa taara lori iṣọkan ti ifipamọ fiimu tinrin ati iṣelọpọ chip. Ti nkọju si ayika lile ti awọn ohun elo kekere, afẹfẹ giga, ati kikọlu itanna ti o lagbara,Ẹja-ogunÀwọn asopọ̀ picoMAX®, pẹ̀lú àwọn àǹfààní pàtàkì mẹ́ta wọn ti "ìwọ̀n ìṣọ̀kan, ìgbẹ́kẹ̀lé, àti ìṣiṣẹ́," ti di ojútùú ìsopọ̀ tó dára jùlọ fún àwọn ètò PECVD.
Apẹrẹ Kékeré tuntun
Ṣíṣe àtúnṣe sí Àwọn Ìtòlẹ́sẹẹsẹ Yàrá Pípé
Ààyè inú àwọn ohun èlò PECVD ní ààlà, ó nílò ìṣètò agbára, àmì, àti àwọn ìlà ìmòye ní àyíká yàrá ìṣiṣẹ́. PicoMAX® lo àwòrán onípele kan ṣoṣo, tí ó ní ìṣiṣẹ́ méjì, pẹ̀lú ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìpele pin ti 3.5/5.0/7.5mm tí ó wà. Lẹ́yìn ìbáṣepọ̀, ó gba àyè tí ó dín ní 30% ju àwọn ọjà ìṣáájú lọ, ó sì bá àwọn ohun tí a nílò fún wáyà yíká yàrá náà mu dáadáa. Asopọ̀ irú ihò rẹ̀ fẹ́rẹ̀ẹ́ wà nínú orí pin náà, ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ìpéjọpọ̀ ẹ̀gbẹ́-sí-ẹgbẹ́ láìsí pípadánù àwọn ọ̀pá, ó ń mú lílo pákó circuit sunwọ̀n síi, ó sì ń jẹ́ kí ìṣètò àmì àti àwọn ìlà agbára wà ní ìtòlẹ́sẹẹsẹ láìsí ìdíwọ́ nínú pápá ìṣàn gaasi ilana náà.
Idaabobo to lagbara lodi si Awọn ipo iṣiṣẹ to gaju
Àwọn ìlànà PECVD ní àwọn àyíká ìfàmọ́ra gíga, plasma ìfẹ̀mọ́ra gíga, àti ìgbọ̀nsẹ̀, èyí tí ó ń gbé àwọn ìbéèrè líle lé ìgbẹ́kẹ̀lé asopọ̀. PicoMAX® ní ètò tí ó dúró ṣinṣin pẹ̀lú ìdènà ìgbọ̀nsẹ̀ tó tó 12g, èyí tí ó ń dènà ìtúpalẹ̀ ìsopọ̀ tí ìgbọ̀nsẹ̀ gíga fà. Ó tún ní apẹẹrẹ àti ẹ̀rọ ìdènà ìfàmọ́ra, èyí tí ó ń mú àwọn àṣìṣe fífi sori ẹrọ kúrò àti ìdènà ìjápọ̀ àìròtẹ́lẹ̀, tí ó ń rí i dájú pé ẹ̀rọ náà ń ṣiṣẹ́ láìsí àkókò ìsinmi.
Ìsopọ̀ Kíákíá Láìsí Irinṣẹ́
picoMAX® ní ìmọ̀ ẹ̀rọ ìsopọ̀ kíákíá láìsí irinṣẹ́, èyí tí ó fún àwọn ìsopọ̀ "plug-and-hold" láàyè fún àwọn wáyà oní-okùn kan àti oní-okùn púpọ̀ pẹ̀lú àwọn ìsopọ̀ tí a tẹ̀ ní òtútù. Àwọn ìsopọ̀ wáyà onípele ni a parí ní ìgbésẹ̀ kan, èyí tí ó mú kí iṣẹ́ ìsopọ̀ sunwọ̀n síi gidigidi àti kíkúrú àwọn àkókò àṣìṣe. Apẹẹrẹ oní-okùn náà bá àwọn ìlànà ìsopọ̀ àtúnṣe mu, ó ń bá àwọn àìní ìdínkù iye owó ti iṣẹ́ àdáṣe mu. Ó tún bo gbogbo àwọn ipò ìsopọ̀ PECVD: ìpele ìpele 3.5mm gba àwọn wáyà àmì 0.2-1.5mm², nígbà tí ìpele ìpele 5.0/7.5mm ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn ìlà agbára 16A. Ó ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn ọ̀nà fífi wáyà sí orí àti nípasẹ̀ ògiri, ó bá àwọn wáyà ìṣàkóso àti ihò mu, ó sì tẹ̀lé àwọn ìlànà ààbò itanna GB/T 5226.1, ó ń kọ́ ààbò tó lágbára fún ìdúróṣinṣin ilana.
Nínú ilé iṣẹ́ semiconductor, níbi tí ìṣe déédé ìpele nanometer ṣe pàtàkì jùlọ, àwọn ìsopọ̀ tí ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé ni ìdánilójú pé èso rẹ̀ yóò pọ̀.Ẹja-ogunPicoMAX®, pẹ̀lú èrò ìṣètò ọjà rẹ̀ tó yí padà, ṣàṣeyọrí “ìwọ̀n kékeré, iṣẹ́ gíga” láàárín ìwọ̀n kékeré kan, ó ń pèsè àwọn ọ̀nà ìsopọ̀ tó dúró ṣinṣin, tó munadoko, àti tó pẹ́ títí fún àwọn ohun èlò PECVD. Èyí ń ran àwọn olùṣe semiconductor lọ́wọ́ láti borí àwọn ìpèníjà ti àwọn ìsopọ̀ ìlànà tó péye, ní dídáàbòbò ìpele micrometer ti gbogbo ërún.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹta-13-2026